Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3.049.77 Автор(ы) : Левин М.Н., Титлин В.Р., Татаринцев А.В., Острухов С.С., Кадменский С.Г. Заглавие : Рентгеновская корректировка пороговых напряжений в производстве МДП интегральных схем Место публикации : Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - С. 6.-С.408-413.-Библиогр.:20 назв. - (Технологические процессы и элементы оборудования) УДК : 621.3.049.77 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): интегральные схемы мдп(производство)--радиационно-технологические процессы--рентгеновская корректировка пороговых напряжений Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Левин, М.Н. Титлин, В.Р. Татаринцев, А.В. Острухов, С.С. Кадменский, С.Г.