Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382 Автор(ы) : Лучинин В.В., Панов М.Ф. Заглавие : Эллипсометрический контроль параметров тонкослойных структур при создании приборов на основе системы SiC-AIN Место публикации : Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - С. 2.-С.129-134.-Библиогр.:6 назв. - (Мониторинг технологических процессов) УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкослойные структуры(контроль параметров)--эллипсометрический контроль параметров(тонкослойных структур)--микроприборы(создание, контроль параметров) Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Панов, М.Ф.