Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.373 Автор(ы) : Вейко В.П. Заглавие : Лазерная микрообработка Место публикации : Известия вузов. Приборостроение. - 2001. - Т.4. - С. 6.-С.5-16.-Библиогр.:19 назв. - (Лазерное формообразование) УДК : 621.373 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): лазерные микротехнологии(микроэлектроника)--лазерная микрообработка(в микроэлектронике)--микроэлектроника(лазерные микротехнологии) Экземпляры :НЧЗ(1) Свободны : НЧЗ(1) |