Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382 Автор(ы) : Арутюнов П.А. Заглавие : Фрактальный анализ анализанизотропных поверхностей Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 6.-С.477-480.-Библиогр.:15 назв. УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): анизотропия поверхности материалов--топотезия--атомно-силовая микроскопия Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1)