Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 681.723 Автор(ы) : Гайнутдинов Р.В., Арутюнов П.А. Заглавие : Проблема артефактов в атомно-силовой микроскопии Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 4.-С.257-265.-Библиогр.:27 назв. УДК : 681.723 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): артефакты в атомно-силовой микроскопии--атомно-силовая микроскопия(артефакты) Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Арутюнов, П.А.