Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.315.592 Автор(ы) : Старков В.В., Старостина Е.А., Волков В.Г., Вяткин А.Ф. Заглавие : Формирование локальных диэлектрических областей методом неоднородного химического травления через маску Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 2.-С.106-112.-Библиогр.:17 назв. УДК : 621.315.592 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): локальные диэлектрические области кремния(формирование)--неоднородного химического травления метод(через маску)--микроэлектронные технологии Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Старков, В.В. Старостина, Е.А. Волков, В.Г. Вяткин, А.Ф.