Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382.2:539.216 Автор(ы) : Сопинский Н.В. Заглавие : Изучение строения сложных тонкопленочных систем методом эллипсометрического моделирования(фоторезистивная система PbJ2-Cu) Место публикации : Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - С. 1.-С.41-46.-Библиогр.:12 назв. УДК : 621.382.2:539.216 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): тонкопленочные системы(изучение строения)--эллипсометрического моделирования метод--фоторезистивная система pbj2-cu Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1)