Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382 Автор(ы) : Будагян Б.Г., Шерченков А.А., Бердников А.Е., Черномордик В.Д. Заглавие : Высокоскоростной метод осаждения аморфного кремния Место публикации : Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - С. 6.-С.442-448.-Библиогр.:11 назв. УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): аморфный кремний(осаждение)--пленки аморфного кремния(свойства)--гетероструктуры(изготовление)--высокоскоростного осаждения a-si метод Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Будагян, Б.Г. Шерченков, А.А. Бердников, А.Е. Черномордик, В.Д.