Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.38.049.77 Автор(ы) : Арутюнов П.А., Толстихина А.Л. Заглавие : Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть II. Место публикации : Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - С. 1.-С.13-22.-Библиогр.:53 назв. УДК : 621.38.049.77 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника(создание элементной базы)--наноэлектроника(создание элементной базы)--элементная база(микро- и наноэлектроники)--кантилеверы(новые конструкции)--сенсоры(новые конструкции)--элементы избирательно-чувствительные(сенсоры,кантилеверы)--нанометография(последние достижения) Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Толстихина, А.Л.