Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.38.049.77 Автор(ы) : Арутюнов П.А., Толстихина А.Л. Заглавие : Атомно-силовая микроскопия в задачах проектирования приборов микро- и наноэлектроники. Часть 1. Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 6.-С.405-414.-Библиогр.:90 назв. УДК : 621.38.049.77 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): атомно-силовая микроскопия(использование метода)--микроэлектроника(создание элементной базы)--элементная база микро- и наноэлектроники(проектирование)--элементы избирательно-чувствительные(новые конструкции) Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Толстихина, А.Л.