Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.382 Автор(ы) : Аверкин С.Н., Валиев К.А., Кошкин В.В., Орликовский А.А., Руденко К.В., Сусанов Я.Н. Заглавие : Микроволновый широкоапертурный источник плотной плазмы Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 6.-С.427-433.-Библиогр.:6 назв. УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): источник плотной плазмы(микроволновый,конструкция) Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Аверкин, С.Н. Валиев, К.А. Кошкин, В.В. Орликовский, А.А. Руденко, К.В. Сусанов, Я.Н.