Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.3.049.77 Автор(ы) : Сокол В.А., Пинаева Н.Н., Гурская Е.А. Заглавие : Легированные редкоземельными металлами диэлектрические пленки в МДМ-структурах Место публикации : Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - С. 6.-С.454-456.-Библиогр.:13 назв. УДК : 621.3.049.77 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки диэлектрические легированные(термостабильность,прочность)--конденсаторы тонкопленочные(электрофизические характеристики)--пленки анодные оксидные(повышение микротвердости) Экземпляры :чзN2(1) Свободны : чзN2(1) Доп.точки доступа: Пинаева, Н.Н. Гурская, Е.А.