Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 621.923 Автор(ы) : Схиртладзе А.Г., Скрябин В.А., Игонина Т.И. Заглавие : Определение величины напряжения в поверхностном слое кремниевых подложек после финишной обработки[Текст] Место публикации : Технология металлов. - 2006. - N11. - С. С.8- 11. - Библиогр.: 3 назв. УДК : 621.923 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): кремневые подложки(определение величины в поверхностном слое после финишной обработки)--финишная обработка кремниевых подложек(определение величины в поверхностном слое) Экземпляры :НЧЗ(1) Свободны : НЧЗ(1) Доп.точки доступа: Скрябин, В.А. Игонина, Т.И.