Шашин, Дмитрий Евгеньевич (кандидат технических наук).     Технология воздействия потоком быстрых нейтралов на тонкие пленки ZnO и вакуумный технологический комплекс для ее реализации [Текст] / Д. Е. Шашин, Н. И. Сушенцов, Е. В. Тришина // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2021. - № 2 (50). - С. 76-87 : 7 рис. - Библиогр.: с. 84-85 (10 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника    Радиоэлектроника в целом    Вычислительная техника    Вычислительная техника в целом    Химия    Физико-химические методы анализа     Кл.слова (ненормированные): ZnO -- вакуумная система откачки камеры -- интегральные схемы -- магнетронное распыление -- нейтральные потоки -- оксид цинка -- тонкие пленки Аннотация: Данная статья посвящена разработке технологии воздействия потоком нейтралов на тонкие пленки ZnO. Описано технологическое оборудование и последовательность операций для реализации воздействия на тонкие пленки ZnO потоком нейтралов. Доп.точки доступа: Сушенцов, Николай Иванович (кандидат технических наук; доцент) Тришина, Евгения Валерьевна (магистрант)