Козырев, Антон Геннадьевич (магистрант). Исследование влияния толщины тонких пленок различного состава, получаемых методом магнетронного распыления, на их оптические спектры пропускания [Текст] / А. Г. Козырев, А. В. Мороз, В. Е. Филимонов> // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2020. - № 4 (48). - С. 64-71 : 6 рис., 5 табл. - Библиогр.: с. 69-70 (11 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Общая радиотехника Вычислительная техника Вычислительные сети Кл.слова (ненормированные): графит -- измерение сфокусированной антенны -- магнетронное распыление -- нитрид алюминия -- оксид меди -- оптические спектры пропускания -- спектры пропускания пленок графита -- тонкие пленки Аннотация: В работе представлены измеренные оптические спектры пропускания пленок графита, нитрида алюминия и оксида меди различной толщины, полученных методом магнетронного распыления. Доп.точки доступа: Мороз, Андрей Викторович (кандидат технических наук; доцент) Филимонов, Виталий Евгеньевич (кандидат технических наук; доцент) |