Шашин, Дмитрий Евгеньевич (аспирант).
    Разработка математической модели формирования тонких пленок оксида цинка с заданными значениями комплексной диэлектрической проницаемости [Текст] / Д. Е. Шашин // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2018. - № 4 (40). - С. 74-81 : 1 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 79 (11 назв.). - Реф. на англ. яз.

Рубрики: Радиоэлектроника

   Электроника в целом


   Вычислительная техника


   Вычислительные сети


   Механика


   Математическая теория механики


   
Кл.слова (ненормированные):
диэлектрическая проницаемость -- магнетронное распыление -- математические модели -- оксид цинка -- регрессия -- технологические параметры -- тонкие пленки
Аннотация: Разработана математическая модель, связывающая технологические параметры магнетронного распыления с комплексной диэлектрической проницаемостью тонких пленок оксида цинка.