Шашин, Дмитрий Евгеньевич (аспирант). Разработка математической модели формирования тонких пленок оксида цинка с заданными значениями комплексной диэлектрической проницаемости [Текст] / Д. Е. Шашин> // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2018. - № 4 (40). - С. 74-81 : 1 рис., 1 табл. - Библиогр.: с. 79 (11 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Вычислительная техника Вычислительные сети Механика Математическая теория механики Кл.слова (ненормированные): диэлектрическая проницаемость -- магнетронное распыление -- математические модели -- оксид цинка -- регрессия -- технологические параметры -- тонкие пленки Аннотация: Разработана математическая модель, связывающая технологические параметры магнетронного распыления с комплексной диэлектрической проницаемостью тонких пленок оксида цинка. |