Ч2 Н 34     Рыжова, Е. А.     Влияние технологических условий магнетронного распыления на характеристики резистивных пленок на основе нержавеющей стали [Текст] / Е. А. Рыжова, А. В. Мороз // Материалы одиннадцатой международной научной школы- семинар "Наука и инновации-2016" ISS "SI-2016" : материалы 8-го международного школы- семинара "Фундаментальные исследования и инновации: нанооптика, фотоника и когерентная спектроскопия", 5-12 июля 2016 года / Рос. фонд фундам. исслед., Фонд содействия развитию малых форм предприятий в науч.- техн. сфере, ФГБОУ ВО "Поволж. гос. технол. ун-т" [и др.]; [редкол.: Попов И. И., Козлов В. А., Самарцев В. В.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2016. - С. 139-142 : 4 рис. - (Физика- материаловедение- технологии- оборудование). - Библиогр.: с. 141-142 (6 назв.) . - кнхр ББК Ч2 Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- магнетронное распыление -- резистивные пленки -- термостабилизация Доп.точки доступа: Мороз, А. В.