Н 34 Рыжова, Е. А. Исследование возможности использования элементов нержавеющей стали в качестве основы тонкопленочных резисторов [Текст] / Е. А. Рыжова, А. В. Мороз, Н. И. Сушенцов // Наука и инновации-2015 ISS "SI-2015" : 10-я международная научная школа : инновационный форум "Прорывные инновации и промышленный прогресс", 10-я Международная Научная Школа-семинар "Фундаментальные исследования и инновации 2015", Всероссийский студенческий проект "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России", Молодежная летняя научная школа-семинар "Наука и инновации - 2015" / [редкол.: И. И. Попов (пред.), В. А. Козлов, В. В. Самарцев] ; Федер. агентство по делам молодежи "Росмолодежь" [и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2015. - С. 82-84 : 1 рис.; 1 табл. - (Физика-материаловедение-технологии-оборудование). - Библиогр.: с. 84 (6 назв.) . - 670837 кнхр
Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- микросхемы -- резисторы -- нержавеющая сталь -- тонкопленочные резисторы -- реактивные газы -- магнетронное распыление Аннотация: Исследованы технологические возможности формирования магнетронным распылением резистивным пленок из элементов нержавеющей стали. Представлены зависимости между содержанием реактивных газов и удельным поверхностным сопротивлением пленок. Показана возможность управления свойствами пленок на основе оксидов и нитритов элементов нержавеющей стали во время их роста за счет состава газового состава в камере. Доп.точки доступа: Мороз, А. В. Сушенцов, Н. И. |