Н 34 Сушенцов, Н. И. Применение совмещенной схемы магнетронного распыления и дугового испарения при создании функциональных покрытий [Текст] / Н. И. Сушенцов, С. А. Степанов, Д. Е. Шашин> // Наука и инновации-2015 ISS "SI-2015" : 10-я международная научная школа : инновационный форум "Прорывные инновации и промышленный прогресс", 10-я Международная Научная Школа-семинар "Фундаментальные исследования и инновации 2015", Всероссийский студенческий проект "Инженерные кадры - будущее инновационной экономики России", Молодежная летняя научная школа-семинар "Наука и инновации - 2015" / [редкол.: И. И. Попов (пред.), В. А. Козлов, В. В. Самарцев] ; Федер. агентство по делам молодежи "Росмолодежь" [и др.]. - Йошкар-Ола : ПГТУ, 2015. - С. 78-82 : 6 рис.; 1 табл. - (Физика-материаловедение-технологии-оборудование). - Библиогр.: с. 82 (2 назв.) . - 670837 кнхр
Кл.слова (ненормированные): ТРУДЫ ПГТУ -- магнетронное распыление -- пленка -- магнетроны -- дуговое испарение -- функциональные покрытия Аннотация: В статье описан опытный образец установки магнетронного распыления и дугового испарения. Доп.точки доступа: Степанов, С. А. Шашин, Д. Е. |