Мороз, А. В.     Система контроля кристаллического строения пленок нитрида алюминия в процессе их получения [Текст] / А. В. Мороз // Вестник Поволжского государственного технологического университета. Сер.: Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2013. - № 2 (18). - С. 88-97 : 5 рис., 2 табл. - (Электроника). - Библиогр.: с. 95-96 (11 назв.). - Реф. на англ. яз. Рубрики: Радиоэлектроника    Электроника в целом    Физика    Физика твердого тела. Кристаллография в целом     Кл.слова (ненормированные): акустоэлектронные исследования -- акустоэлектронные потери -- кристаллиты -- кристаллическое строение -- магнетронное распыление -- микротвердость пленок -- нитриды алюминия -- поверхностные акустические волны -- системы контроля -- степени кристалличности -- эмпирические соотношения