Установка для формирования наноструктур [Текст] / И. Короташ [и др.] // Наноиндустрия. - 2010. - N 4. - С. 14-18. - Библиогр.: с. 18 (3 назв.) УДК 537:62 Кл.слова (ненормированные): НАНОСТРУКТУРЫ И НАНОМАТЕРИАЛЫ -- УСТАНОВКИ для формирования наноструктур Аннотация: Многофункциональная малогабаритная установка настольного типа с гибридной ионно-плазменной разрядной системой.