Бенедетто, Винья. Особенности производства микроэлектромеханических систем [Текст] / Бенедетто Винья // Электронные компоненты. - 2008. - N11. - С. .62-63.
Кл.слова (ненормированные): Микромеханические системы -- МЕМС-акселерометры -- MEMS-технологии(микроприборы и микросистемы) -- Датчики физических величин -- Автомобильная электроника(компоненты) |