Павлов, Е. П. (Преподаватель МарГТУ). Управление технологической точностью выходных параметров больших гибридных интегральных схем в многооперационном технологическом процессе [Текст] / Е. П. Павлов, М. С. Синельников // Вестник МарГТУ. - 2008. - N1. - 77-82.-Библиогр.:2 назв.
Кл.слова (ненормированные): БИС -- Интегральные микросхемы(изготовление,контроль техпроцессов) -- Схемотехническое проектирование микроэлектронных устройств(п |