Интегральные микроэлектромеханические системы(IMЭМС)-новое направление электроники [Текст] // Успехи современной радиоэлектроники. - 2008. - N7. - С. 94
Кл.слова (ненормированные): МЕМС-акселерометры -- Микромеханические системы -- Датчики механических параметров |