Павлов, Е. П. (преподаватель МарГТУ). Управление технологической точностью выходных параметров больших гибридных интегральных схем в многооперационном технологическом процессе [Текст] / Е. П. Павлов, М. С. Синельников // Вестник МарГТУ. Радиотехнические и инфокоммуникационные системы. - 2008. - N 1. - 77-82.-Библиогр.:2 назв. - (Электроника)
Кл.слова (ненормированные): БИС -- Технологии микросистемной техники -- Надежность полупроводниковых изделий(оценка) -- Интегральные микросхемы(изготовление, контроль техпроцессов) |