Новые перспективы применения кристаллов алмаза в микроэлектронике[Текст] [Текст] // Микроэлектроника. - 2006. - Т.5. - 5.-С.339-346. - (Технологические процессы и проблемы микроэлектроники)
УДК

Кл.слова (ненормированные):
Кристаллы полупроводниковых приборов
Аннотация: Алмаз в электронике