Новые перспективы применения кристаллов алмаза в микроэлектронике[Текст] [Текст] > // Микроэлектроника. - 2006. - Т.5. - 5.-С.339-346. - (Технологические процессы и проблемы микроэлектроники)
Кл.слова (ненормированные): Кристаллы полупроводниковых приборов Аннотация: Алмаз в электронике |