Мальцев, П.
    От микро- к наносистемной технике[Текст] [Текст] / П.Мальцев // Электронные компоненты. - 2006. - N1. - 83-86.-Библиогр.: 8 назв.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
Микросистемная техника(перспективы развития) -- Нанотехнология(состояние, развитие)