Николайчук, О. Введение в МЕМS-технологии[Текст] [Текст] / Николайчук, О. // Схемотехника. - 2006. - N1. - 47-50.-Библиогр.: 35 назв.Начало 2005.-N11.-С.33-35.
Кл.слова (ненормированные): MEMS-технологии(микроприборы и микросистемы) Аннотация: Термин МЕМS-"Миниатюрные электромеханические системы". Интегральные полупроводниковые структуры содержащие как миниатюрные электромеханические элементы, так и интегральные микросхемы обработки данных |