Снитовский, Ю. П. Реконструкция поверхности кремния при очистке и ее влияние на переходное сопротивление контактов Al/ Mo-Si и параметры биполярных СВЧ-транзисторов[Текст] [Текст] / Ю.П.Снитовский // Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - №5.-С.366-371.-Библиогр.: с.370-371. - (Приборы микро- и наноэлектроники)
Кл.слова (ненормированные): СВЧ-транзисторы(выбор) -- Кремний(очистка,подлегирование) |