Расширение информативности равновесной вольт-емкостной спектроскопии локализованных электронных состояний у гетерограниц полупроводник/диэлектрик[Текст] [Текст] // Микроэлектроника. - 2004. - Т.3. - 4.-С.277-289.-Библиогр.: с.288-289. - (Получение и свойства микроэлектронных структур)
Кл.слова (ненормированные): Спектральные диагностические методы(в микроэлектронике) -- Спектральные свойства(исследования) |