Морозов, С. Аспекты эволюции субмикронной микроэлектроники - взгляд изнутри[Текст] [Текст] / С.Морозов, С.Соколов // CHIP NEWS. - 2004. - №4. - С. 4-13. - (Системы на кристалле). - Библиогр.: с. 13
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектроника полупроводниковая (технологии) -- Нанометография (последние достижения) -- Нанотехнологии Доп.точки доступа: Соколов., С. |