Джефри, С. Нью Микрофоны на основе технологии МЕМS для поверхностного монтажа [Текст] / Джефри, С.Нью // CHIP NEWS. - 2003. - №9. - С. 58-59. - (Микроэлектромеханика)
Кл.слова (ненормированные): Микрофонные звукосниматели (техническая акустика) -- MEMS-технологии (микроприборы и микросистемы) |