Жуков, В. А. Метод ионооптической имплантации одиночных ионов фосфора 31Р в качестве кубитов твердотельного квантового компьютера [Текст] / В.А.Жуков // Микроэлектроника. - 2003. - Т.3. - 6.-С.430-439. - (Технологические процесс)
Кл.слова (ненормированные): Компьютеры(повышение производительности) -- Квантовый компьютер(создание элементов) |