Микроэлектромеханическая система управления аэродинамическими потоками. Датчики давления [Текст] / А.А.Таскин,Б.И.Фомин,Е.И.Черепов и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 6.-С.423-430.-Библиогр.:5 назв. - (Приборы микроэлектроники и микромеханики)
Кл.слова (ненормированные): Сенсоры мембранного типа(изготовление) -- Датчики давления(разработка,изготовление,тестирование) Доп.точки доступа: Таскин, А.А. Фомин, Б.И. Черепов, Е.И. Гридчин, В.А. Любимский, В.М. Хабаров, С.П. Грек, В.А. Довгаль, А.В. Козлов, В.В. |