Котенев, В. А. Цифровая 3D-микрорефлектометрия в контроле топографии и качества тонких пленок [Текст] / В.А.Котенев // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 6.-С.466-478. - (Контроль качества)
Кл.слова (ненормированные): Тонкие пленки(контроль качества) -- Видеомикрозонд оптический компьютерный(использование) -- Цифровая 3D-микрорефлектометрия -- Контроль микротопографии тонких пленок |