Диагностика плазмы геликоного источника с помощью открытого СВЧ-резонатора [Текст] / Ю.П.Барышев,И.Н.Москалев,И.П.Кориткин и др. // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 4.-С.286-291.-Библиогр.:3 назв. - (Диагностика)
Кл.слова (ненормированные): Диагностика плазмы -- Геликоновый источник -- СВЧ-резонатор -- Микроэлектроника(технологии) Доп.точки доступа: Барышев, Ю.П. Москалев, И.Н. Кориткин, И.П. Орликовский, А.А. Прокофьев, А.О. |