Сенько, С. Ф. Новая технология изготовления системы металлизации СБИС с использованием полиамида [Текст] / С.Ф.Сенько,Ю.П.Снитовский // Микроэлектроника. - 2002. - Т.3. - 3.-С.201-210.-Библиогр.:5 назв. - (Технологические процессы)
Кл.слова (ненормированные): Металлизация СБИС(новые технологии) -- СБИС(новые технологии металлизации) Доп.точки доступа: Снитовский, Ю.П. |