Вейко, В. П. Лазерная микрообработка [Текст] / В.П.Вейко // Известия вузов. Приборостроение. - 2001. - Т.4. - 6.-С.5-16.-Библиогр.:19 назв. - (Лазерное формообразование)
Кл.слова (ненормированные): Лазерные микротехнологии(микроэлектроника) -- Лазерная микрообработка(в микроэлектронике) -- Микроэлектроника(лазерные микротехнологии) |