Воробьева, А. И. Кинетические особенности формирования столбиковых микроструктур методом анодного оксидирования [Текст] / Воробьева А.И. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 6.-С.445-458.-Библиогр.:18 назв.
Кл.слова (ненормированные): Столбиковые микроструктуры(формирование) -- Анодного оксидирования метод -- Микроэлектроника(технология) -- Электронная микроскопия -- Хроновольт-амперометрия |