Юрьев, В. А. Сверхкрупные дефекты в CzSi:B [Текст] / Юрьев В.А., Калинушкин В.П.> // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.203-204.-Библиогр.:8 назв.
Кл.слова (ненормированные): Сверхкрупные дефекты в CzSi:B(выявление) -- Сканирующей лазерной микроскопии метод Доп.точки доступа: Калинушкин, В.П. |