Юрьев, В. А.
    Сверхкрупные дефекты в CzSi:B [Текст] / Юрьев В.А., Калинушкин В.П. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 3.-С.203-204.-Библиогр.:8 назв.
УДК

Кл.слова (ненормированные):
Сверхкрупные дефекты в CzSi:B(выявление) -- Сканирующей лазерной микроскопии метод
Доп.точки доступа:
Калинушкин, В.П.