Орликовский, А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть 1. [Текст] / Орликовский А.А., Руденко К.В. // Микроэлектроника. - 2001. - Т.3. - 2.-С.85-105.-Библиогр.:26 назв.
Кл.слова (ненормированные): Микроэлектронная технология(мониторинг процессов in situ) -- Плазменные технологические процессы(диагностика in situ) -- Спектральные диагностические методы(в микроэлектронике) -- Масс-спектрометрия in situ -- Зондовые методы диагностики(процессов травления) -- СВЧ-диагностика плазмы -- Термометрия поверхности Доп.точки доступа: Руденко, К.В. |