Углеродные маски для получения YBa2Cu3Ox субмикронных мостиков и джозефсоновских переходов [Текст] / И. А. Волков и [др.] // Радиотехника и электроника. - 2001. - Т.4. - 6.-С.892-896.-Библиогр.:7 назв. - (Новые радиоэлектронные системы и элементы)
Кл.слова (ненормированные): Субмикронные джозефсоновские переходы(получение,использование) -- Углеродные маски -- Тонкие пленки(ионное травление) -- Технологии новые(изготовление тонкопленочных джозефсоновских переходов) Доп.точки доступа: Волков, И.А. Калабухов, А.С. Снигирев, О.В. Жерихин, А.Н. Маврин, Б.Н. |