Ричардс, Р. MEMS-устройства для СВЧ - приложений [Текст] / Ричардс Р., Де Лос Сантос Г. // CHIP NEWS.Инженерная микроэлектроника. - 2001. - N7. - С. 20-25. - (RF и СВЧ компоненты)
Кл.слова (ненормированные): СВЧ - устройства (новые технологии и производства) -- Технологии новые (производство техники СВЧ) -- MEMS-технология (производство техники СВЧ) -- Техника СВЧ (новые технологии производства) Доп.точки доступа: Де, Л.С. |