Высокоскоростной метод осаждения аморфного кремния [Текст] / Б.Г.Будагян,А.А.Шершенков,А.Е.Бердников,В.Д.Черномордик В.Д. // Микроэлектроника. - 2000. - Т.2. - 6.-С.442-448.-Библиогр.:11 назв.
Кл.слова (ненормированные): Аморфный кремний(осаждение) -- Пленки аморфного кремния(свойства) -- Гетероструктуры(изготовление) -- Высокоскоростного осаждения a-Si метод Доп.точки доступа: Будагян, Б.Г. Шерченков, А.А. Бердников, А.Е. Черномордик, В.Д. |