Микроволновый широкоапертурный источник плотной плазмы [Текст] / С.Н.Аверкин,К.А.Валиев,В.В.Кошкин и др. // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 6.-С.427-433.-Библиогр.:6 назв.
Кл.слова (ненормированные): Источник плотной плазмы(микроволновый,конструкция) Доп.точки доступа: Аверкин, С.Н. Валиев, К.А. Кошкин, В.В. Орликовский, А.А. Руденко, К.В. Сусанов, Я.Н. |