Сокол, В. А. Легированные редкоземельными металлами диэлектрические пленки в МДМ-структурах [Текст] / В.А.Сокол,М.М.Пинаева,Е.А.Гурская // Микроэлектроника. - 1999. - Т.2. - 6.-С.454-456.-Библиогр.:13 назв.
Кл.слова (ненормированные): Пленки диэлектрические легированные(термостабильность,прочность) -- Конденсаторы тонкопленочные(электрофизические характеристики) -- Пленки анодные оксидные(повышение микротвердости) Доп.точки доступа: Пинаева, Н.Н. Гурская, Е.А. |