Соколов, Л. В. Сенсорные твердотельные микроприборы и микросистемы на основе MEMS-технологии [Текст] / Соколов Л.В. // Зарубежная электронная техника. - 1999. - N1. - С. 93-115. - (Обзор номера)
Кл.слова (ненормированные): Микроприборы(сенсорные,твердотельные) -- MEMS-технологии(микроприборы и микросистемы) |