Михеева, Е. В. Структурные схемы факторов дефектности МКК,МКП [Текст] / Е. В. Михеева, И. В. Таланцев, Н. М. Скулкин // Тонкие пленки в электронике : тез. докл. ХI международ.науч.-техн.конф.,28-31 августа 2000 г./МарГТУ. - Йошкар-Ола, 2000. - С. 49. - (Формирование и обработка материалов на различных этапах изготовления изделий электронной техники)
Таланцев, И.В. Скулкин, Н.М. |