Плазмохимическое осаждение пленок двуокиси кремния в автоматизированной установке с индивидуальной обработкой пластин [Текст] / Евтух А.А. [и др.] // Материаловедение. - 2001. - N10. - С. .40-43
Кл.слова (ненормированные): Установка плазмохимического охлаждения диэлектрических пленок -- Парогазовая смесь(PE CVD) Доп.точки доступа: Евтух, А.А. Рассамакин, В.Я. Рассамакин, Ю.В. Литвин, Ю.М. |