Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 6П2.151/Ф 50 Заглавие : Физико-химические основы микроэлектроники конструирования и технологии РЭА и ЭВА : метод. указания по выполнению лаб. работ для студентов специальностей 0705 и 0648 Выходные данные : Йошкар-Ола: МарПИ, 1987 Колич.характеристики :35 c. Цена : Беспл. УДК : 621.382.049.77(07) + 621.396.6.049.77(07) + 004(07) Предметные рубрики: МарПИ-- Издания Экземпляры :кнхр(1) Свободны : кнхр(1) Доп.точки доступа: Меркурьев, Г. А. \сост.\ Игумнов, Владимир Николаевич \сост.\